1991
Fundación de Nanofilm Technology GMbH como una filial del Instituto Max-Planck de Química Biofísica en Goettingen, Alemania.

Primer producto: “Microscopio de Ángulo Brewster BAM1”de Nanofilm.

1992
Alianza entre JRS Instruments (Suiza) y Nanofilm (Alemania) para la distribución de sistemas de amortiguación de vibraciones como un accesorio del Microscopio de Ángulo Brewster.

1994
Halcyonics obtubo la independencia como sociedad civil alemana (GmbH en alemán) como una empresa especializada en sistemas de amortiguación de vibraciones para instrumentos de medición sensibles a cualquier tipo de vibración.

1996
Fundación de Halcyonics GmbH como una filial de Nanofilm Technologie GmbH especializada en Aislamiento de Vibración Activa.

1997
Introducción a nivel mundial del primer Elipsómetro de Imagen “I-Elli2000”de Nanofilm

2000
Fundación de “Accurion Inc.” en el Silicon Valley (E.U.) como oficina de ventas para América del Norte.

2001
Halcyonics se disocia de JRS fabricando su propia linea de producción e iniciando la renovación continua en el diseño de productos y tecnología que se ajusten a las necesidaddes del usuario.

2002
Presentación de la nueva plataforma para el Elipsómetro de Imagen EP³ de Nanofilm.

2003
Presentación del nuevo “Elipsómetro de Imagen EP³SPR“ de Nanofilm para aplicaciones en biotecnología.

2004
Introducción al mercado mundial del primer “Elipsómetro Espectroscópico de Imagen EP³SE” de Nanofilm.

Presentación de VarioControl de Halcyonics, una nueva tecnología de amortiguación activa.

2005
Introducción del sistema Halcyonics Micro40.

2008
Nanofilm se combierte en una División de Halcyonics GmbH.

Presentación del sistema de aislamiento de vibración activa más pequeño del mundo, Halcyonics Nano20.

2009
Halcyonics y Nanofilm anuncian su unión bajo el nombre de Accurion.

Accurion se translada a sus nuevas instalaciones en Stresemannstr. 30, 37079 Goettingen, Alemania.